晶圆检测设备

　　*1 根据检查项目的不同，机器尺寸可能与描述不同。

　　*2 未列出的检查项目也可定制。

　　机器尺寸 ( 宽 x 长 x 高 ) *1

　　3,600×1,200×1,900 mm

　　最大工件尺寸

　　Φ300 mm

　　检查项目 *2

　　外径和边角尺寸、崩边/缺口、正面和背面的棉渍、贯穿/非贯穿裂纹、针孔、异物、板厚、波纹/翘曲、浸渍印记、电阻率/PN 判断、使用寿命等。